混凝土試驗(yàn)儀器涉及所有物理量的測(cè)量,對(duì)于材料、工程科學(xué)、能源科學(xué)關(guān)系密切。目前的發(fā)展趨勢(shì)有以下幾點(diǎn):
(1)以自然基準(zhǔn)溯源和傳遞,同時(shí)在不同量程實(shí)現(xiàn)比對(duì)。如果自己沒(méi)有能力比對(duì)就要依靠其它國(guó)家。
(2)高精度。目前半導(dǎo)體工藝的典型線寬為0.25μm,并正向0.18μm過(guò)渡,2009年的預(yù)測(cè)線寬是0.07μm。如果定位要求占線寬的1/3,那么就要求10nm量級(jí)的精度,而且晶片尺寸還在增大,達(dá)到300mm。這就意味著測(cè)量定位系統(tǒng)的精度要優(yōu)于3×10的-8次方,相應(yīng)的激光穩(wěn)頻精度應(yīng)該是10的-9次方數(shù)量級(jí)。
(3)高速度。目前加工機(jī)械的速度已經(jīng)提高到1m/sec以上,上世紀(jì)80年代以前開(kāi)發(fā)研制的儀器已不適應(yīng)市場(chǎng)的需求。 (4)高靈敏,高分辨,小型化。如將光譜儀集成到一塊電路板上。
(5)標(biāo)準(zhǔn)化。通訊接口過(guò)去常用GPIB,RS232,目前有可能成為替代物的高性能標(biāo)準(zhǔn)是USB、IEEE1394和VXI?,F(xiàn)在,技術(shù)者設(shè)法控制技術(shù)標(biāo)準(zhǔn),參與標(biāo)準(zhǔn)制訂是儀器開(kāi)發(fā)的基礎(chǔ)研究工作之一。
我國(guó)儀器科技的發(fā)展現(xiàn)狀
(1)由于長(zhǎng)期習(xí)慣于仿制國(guó)外產(chǎn)品,我國(guó)的儀器儀表工業(yè)缺乏創(chuàng)新能力,跟不上科學(xué)研究和工程建設(shè)的需要。
(2)我國(guó)儀器科學(xué)與技術(shù)研究領(lǐng)域積累了大量科研成果,許多成果處于水平,有待篩選、提高和轉(zhuǎn)化,但產(chǎn)業(yè)化程度很低,沒(méi)有形成具有競(jìng)爭(zhēng)力的完整產(chǎn)業(yè)。 (2)我國(guó)儀器科學(xué)與技術(shù)研究領(lǐng)域積累了大量科研成果,許多成果處于水平,有待篩選、提高和轉(zhuǎn)化,但產(chǎn)業(yè)化程度很低,沒(méi)有形成具有競(jìng)爭(zhēng)力的完整產(chǎn)業(yè)。 |